| 主权项 |
一种用于成型一材料薄膜于一太阳能电池底材上之装置，包括：一壳体，系界定一真空室；一旋转鼓，设置于该真空室之中，并且系界定复数个底材支撑表面，其中，每一底材支撑表面系固持一底材；一溅镀源，耦合于该真空室，并且具有用于传送复数个材料薄膜元件至该真空室之一溅镀气体；一溅镀靶材，连接于该溅镀源，并且含有该等材料薄膜元件；以及一遮蔽板，固定于该壳体之中，并且系位于该溅镀靶材与该真空室之间，其中，该遮蔽板具有一流动孔隙，该流动孔隙系流体连通于该溅镀源及该真空室，该流动孔隙具有相对之两端部及一中间部，以及该中间部之宽度系小于至少一端部之宽度。 |
