于一扫描型电子显微镜（ＳＥＭ）中用于改善样本存取之缺口磁透镜;NOTCHED MAGNETIC LENS FOR IMPROVED SAMPLE ACCESS IN AN SEM

摘要

本发明揭示一种磁浸没透镜装置，其包含一外极片及一内极片，在该外极片与该内极片之间具有接近该等第一及第二极片之一共同轴之一间隙。该外极片具有允许来自该浸没透镜前面之一目标之高能粒子通过该外极片而至一外部侦测器之一开口。该外极片或该内极片在该间隙附近具有一或多个缺口，包含扩大接受锥之至少一缺口，该等高能粒子可自该目标通过该至少一缺口而至该外部侦测器。本摘要经提供以遵守要求将允许一搜寻者或其他读者快速确定技术揭示内容之标的物之一摘要的规则。应了解，本摘要不会用于解释或限制专利申请范围之范畴或含义。