薄膜形成方法及薄膜形成装置

摘要

本发明的课题为提供一种薄膜形成方法，可抑制用于薄膜形成之所需时间的增大，并可形成表面的凹凸减轻的薄膜。其解决手段是在基板弹着液状的薄膜材料之后，将弹着后的薄膜材料硬化至第1硬化度为止，藉此形成第1薄膜部份。使一部份与第1薄膜部份重叠地将液状的薄膜材料弹着后，重新使弹着后的薄膜材料硬化至第2硬度为止，藉此形成第2薄膜部份。在第1薄膜部份与第2薄膜部份的边界不能分辨之后，将第1薄膜部份及第2薄膜部份硬化至比第1硬化度及第2硬化度其中之一硬化度都高的第3硬化度。