半导体装置及其制造方法;SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

本发明之目的在于抑制半导体装置的特性变动。为了达成上述目的，在配置成互相平行的导体图案CPA与导体图案CPB中，导体图案CPA分割成第1部分P1（A）与第2部分P2（A），且导体图案CPB亦分割成第1部分P1（B）与第2部分P2（B）。然后，导体图案CPA的第1部分P1（A）与导体图案CPB的第2部分P2（B）同样以第1遮罩的第1图案成形形成，另一方面，导体图案CPA的第2部分P2（A）与导体图案CPB的第1部分P1（B）同样以第2遮罩的第2图案成形形成。