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发明名称
硬遮罩;HARDMASK
摘要
本发明提供一种含有有机金属化合物之组成物,该有机金属化合物于该金属聚合物主干具有发色团部分,其许可更宽广范围之n/k值使得于各种条件下可控制基板反射率。
申请公布号
TW201520279
申请公布日期
2015.06.01
申请号
TW103130352
申请日期
2014.09.03
申请人
罗门哈斯电子材料有限公司 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人
山田信太郎 YAMADA, SHINTARO;王 大洋 WANG, DEYAN;王 沙滨娜 WONG, SABRINA;刘琮 LIU, CONG;徐 承柏 XU, CHENG-BAI
分类号
C09B57/10(2006.01);C09B69/10(2006.01);C08G79/00(2006.01);G03F1/00(2012.01);G03F7/09(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
C09B57/10(2006.01)
代理机构
代理人
洪武雄陈昭诚
主权项
地址
美国 US
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