超纯水制造系统、超纯水制造供给系统及其洗净方法

摘要

在进行杀菌洗净时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗净后会防止因为利用微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成之系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。