| 摘要 |
<p>Der Erfindung, die eine Substratauflage zum Transport von scheibenförmigen Substraten in Vakuumbeschichtungsanlagen betrifft, die eine Aufnahmeebene für das Substrat und eine Transportebene, zum Abstützen der Substratauflage auf einer Transportvorrichtung der Vakuumbeschichtungsanlage aufweist liegt die Aufgabe zugrunde, eine Substratauflage anzugeben, die für den Einsatz von beheizten Substraten geeignet ist. Diese wird dadurch gelöst, dass zwischen der Aufnahmeebene und der Transportebene Stege angeordnet sind, die sich senkrecht zwischen Aufnahmeebene und Transportebene erstreckende Stegseiten und eine parallel zu Aufnahmeebene liegende aufnahmeseitige Schmalseite und eine parallel zu Transportebene liegende transportseitige Schmalseite aufweisen. Dabei weisen die Schmalseiten eine geringere Breite auf als die Stegseite. Diese Stege sind unter Bildung der Aufnahmeebene und der Transportebene zu einer Wabenstruktur verbunden.</p> |
