一种太阳能电池的多层减反膜

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的多层减反膜，包括太阳能电池层，在电池窗口层上、下均设置有SiO₂ 膜，在电池窗口层上、下的SiO₂ 膜上均设置减反膜；所述SiO₂ 膜厚度为3～60nm ；所述减反膜厚度为30～120nm，并且是折射率为2.3～2.5 的透光膜。本发明能够寻找新的技术途径代替当前工业常用的SiNx 单层减反膜，采用上述多层膜结构，同时实现光学匹配和电学钝化作用，减反钝化效果可以与SiNx 媲美。而且该多层膜结构的制备工艺简单，设备造价低，是一种比较理想的结构。另外，该多层膜的结构是一种复合结构，其上下结构一样，增加了钝化作用以及减反效果。

主权项

一种太阳能电池的多层减反膜，其特征在于，包括太阳能电池层（1），在太阳能电池层（1）上、下均设置有SiO₂ 膜（2），在太阳能电池层（1）上、下的SiO₂ 膜（2）上均设置减反膜（3）；所述SiO₂ 膜（2）厚度为3～60nm ；所述减反膜（3）厚度为30 ～ 120nm，并且是折射率为2.3 ～ 2.5 的透光膜。