| 发明名称 | 一种可增加扩散均匀性的抽尾气装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可增加扩散均匀性的抽尾气装置，包括环流管和，排气管，环流管上设有多个用于抽吸炉内尾气的抽气孔，排气管与炉尾的排气口相通，本实用新型在炉内腔体的炉口位置处增设环流管，并在环流管上设计多个抽气孔，使得原来的单点式抽气改为多点多角度的抽气方式，极大改善了炉内扩散气体的流动，消除了扩散死角，使得炉内硅片的扩散掺杂更均匀，提高了硅片质量。 | ||
| 申请公布号 | CN204356442U | 申请公布日期 | 2015.05.27 |
| 申请号 | CN201420772787.9 | 申请日期 | 2014.12.09 |
| 申请人 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 发明人 | 李奕涛;金重玄 |
| 分类号 | C30B31/16(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人 | 尉伟敏;方琦 |
| 主权项 | 一种可增加扩散均匀性的抽尾气装置，设于扩散炉(1)的炉内腔体(11)中，用于太阳能电池硅片扩散炉的尾气排放，其特征在于：所述抽尾气装置(2)包括环流管(21)和与环流管相通的排气管(22)，所述环流管竖立于炉口(12)位置，环流管上设有多个用于抽吸炉内尾气的抽气孔(211)，所述排气管与炉尾(13)的排气口相通，炉内扩散气体通过排气口排出炉外。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号 | ||