一种晶体生长坩埚剩料自泄放装置

摘要

一种晶体生长用坩埚剩料自泄放装置，包括坩埚，坩埚底部同心开通孔并焊接上排泄管，坩埚及排泄管选用Pt材质，坩埚置于热场，并同心放于埚垫上，埚垫带有中心孔，排泄管竖直朝下从埚垫中心穿出下保温层，下保温层内靠近排泄管布设辅助发热体，辅助发热体邻近布设测温热电偶，辅助发热体及测温热电偶电连接到温度控制器，排泄管管口下方放置剩料接纳容器，剩料接纳容器上安装水冷盘管，坩埚外围与外保温坩埚之间填满保温粉，坩埚口上方同心设置内衬及保温盖。具有出炉的坩埚内壁干净、变形小、温场稳定等效果，免去机械敲击以及强酸或强碱除渣工序，具有制作简单、操作方便、节约成本的优点。

主权项

一种晶体生长坩埚剩料自泄放装置，其特征在于，包括坩埚（13），坩埚（13）底部同心开通孔并焊接上排泄管（9），坩埚（12）置于热场中央，并同心放于埚垫（4）上，埚垫（4）带有中心孔，排泄管（9）竖直朝下从埚垫（4）中心穿出下保温层（5），下保温层（5）内靠近排泄管（9）布设辅助发热体（10），辅助发热体（10）邻近布设测温热电偶（11），辅助发热体（10及测温热电偶（11）电连接到温度控制器，排泄管（9）管口下方设有剩料接纳容器（7），剩料接纳容器（7）上设有水冷盘管（8）。