发明名称 |
管式生长炉 |
摘要 |
本发明公开了一种管式生长炉,通过简单管式炉体组合而制造出较大温度梯度的方案,包括一个较小圈径的加热炉圈(上炉),一个较大圈径的加热炉圈(下炉),梯度区,以及相应的保温隔热材料。解决一些晶体结晶过冷度较大单晶生长所需大温度梯度的问题,大大增加了炉体温度梯度的可调范围,为一些高品质晶体的生长提供新的解决方案。 |
申请公布号 |
CN104651924A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201510101607.3 |
申请日期 |
2015.03.09 |
申请人 |
中国工程物理研究院化工材料研究所;四川省新材料研究中心 |
发明人 |
方攀;康彬;窦云巍;唐明静;袁泽锐;张羽;尹文龙;陈莹 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
四川省成都市天策商标专利事务所 51213 |
代理人 |
伍孝慈 |
主权项 |
一种管式生长炉,其特征在于它包括高温区炉圈(1)、低温区炉圈(2)、高温区控温热偶(3)、低温区控温热偶(4)、保温层(5)、上炉型腔(6)和下炉型腔(7),所述高温区炉圈(1)设置所述上炉型腔(6)内,所述低温区炉圈(2)设置所述低温区炉圈(2)内,所述保温层(5)围在所述上炉型腔(6)和下炉型腔(7)上,所述高温区控温热偶(3)与所述高温区炉圈(1)连接,所述低温区控温热偶(4)与所述低温区炉圈(2)连接。 |
地址 |
621000 四川省绵阳市科创园区园艺街20号 |