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<p>본 발명은, 피연마재 표면의 연마 불균일을 효과적으로 억제할 수 있는 원형상 연마 패드를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 원형상 연마 패드는, 연마 표면에 XY 격자 홈을 가지는 원형상 연마층을 포함하고, 원형상 연마층의 중심점이, 이하의 3개의 가상 직선 A, B 및 C로 에워싸인 영역 Z 내(가상 직선상을 포함함)에 오프셋되어 있다. 가상 직선 A: X 홈 또는 Y 홈 위의 점을 상기 X 홈 또는 Y 홈과 직교하는 방향으로 홈 피치의 5% 이동시킨 점을 연결한 직선 가상 직선 B: XY 격자 홈의 한쪽 대각선 D상의 점을 상기 대각선 D와 직교하는 방향으로 홈 피치의 5% 이동시킨 점을 연결한 직선 가상 직선 C: XY 격자 홈의 다른 쪽 대각선 E 상의 점을 상기 대각선 E와 직교하는 방향으로 홈 피치의 5% 이동시킨 점을 연결한 직선</p> |
