基板处理装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够减小基板处理装置的独占体积的技术。为了达成该目的，基板处理装置(1)具有：多个处理部(21)，对基板(W)进行处理；搬运机械手(CR)，沿着一个以上的直行轴进行直行动作，且以铅垂轴为中心进行旋转动作，相对于各处理部(21)搬运基板；搬运室(V)，划分为搬运机械手(CR)的动作空间；搬运控制部(301)，控制搬运机械手(CR)的动作。在此，搬运室(V)内所规定的第一部分区域(V1)的宽度(即，沿着与一个以上的直行轴垂直的水平轴的宽度)小于搬运机械手(CR)的旋转直径(R)。而且，搬运控制部(301)禁止搬运机械手(CR)在第一部分区域(V1)内进行旋转动作。

主权项

一种基板处理装置，用于处理基板，具有：多个处理部，对基板执行处理，搬运装置，能够沿着一个以上的直行轴中的各直行轴进行直行动作，且能够以铅垂轴为中心进行旋转动作，通过所述直行动作和所述旋转动作，来相对于多个所述处理部分别搬运基板，搬运室，划分为所述搬运装置的动作空间，搬运控制部，控制所述搬运装置的动作；在所述搬运室内规定有第一部分区域，该第一部分区域的沿着与所述一个以上的直行轴垂直的水平轴的宽度小于所述搬运装置的旋转直径，所述搬运控制部禁止所述搬运装置在所述第一部分区域内进行所述旋转动作。