液滴振动装置及液滴振动方法

摘要

本发明提供可在增大振幅的条件下使液滴振动的液滴振动装置及液滴振动方法。本发明的液滴振动装置具备：上电极；可承载基板的下电极；变更彼此相对的上电极和下电极的距离的变更机构；可检测在基板的、与上电极相对的一侧形成的液滴的区域传感器；以及改变在上电极和下电极之间施加的施加电压而使液滴振动、并判断液滴是否被区域传感器检测到的控制器。控制器分别判断在施加电压的频率或距离不同的多个条件下，液滴是否被区域传感器检测到，并在多个条件中的液滴被区域传感器检测到且距离最大的条件的频率及距离下使液滴振动。

主权项

一种液滴振动装置，其特征在于，具备：上电极；下电极，能够承载基板；变更机构，变更彼此相对的所述上电极和所述下电极的距离；传感器，能够检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴；以及控制器，改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述液滴振动，并判断所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器分别判断在所述施加电压的频率或所述距离不同的多个条件下所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器在所述多个条件中的所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下，使所述液滴振动。