发明名称 密封阀门
摘要 本实用新型提供了一种密封阀门,包括:一气缸及一阀杆,所述气缸上设置有一凸出开口,所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸,所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动,所述气缸上设置有多个安全锁,所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围,所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间;所述气缸上还设置有两个进气管,第一进气管和第二进气管,所述第一进气管位于靠近所述凸出开口一端,所述第二进气管位于远离所述凸出开口一端,所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀,所述第二进气管上设置有第二气动阀。当所述密封阀门两侧的压力平衡时,所述密封阀门可以自由打开,当所述密封阀门两侧的压力不平衡时,所述密封阀门不能打开。
申请公布号 CN204358220U 申请公布日期 2015.05.27
申请号 CN201420807324.1 申请日期 2014.12.17
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 周琦;计骏
分类号 F16K31/12(2006.01)I;F16K17/20(2006.01)I 主分类号 F16K31/12(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种密封阀门,其特征在于,包括:一气缸及一阀杆,所述气缸上设置有一凸出开口,所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸,所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动,所述气缸上设置有第一进气管和第二进气管,所述第一进气管位于所述第二进气管靠近所述凸出开口的一侧,所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀,所述第二进气管上设置有第二气动阀。
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号