发明名称 |
密封阀门 |
摘要 |
本实用新型提供了一种密封阀门,包括:一气缸及一阀杆,所述气缸上设置有一凸出开口,所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸,所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动,所述气缸上设置有多个安全锁,所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围,所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间;所述气缸上还设置有两个进气管,第一进气管和第二进气管,所述第一进气管位于靠近所述凸出开口一端,所述第二进气管位于远离所述凸出开口一端,所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀,所述第二进气管上设置有第二气动阀。当所述密封阀门两侧的压力平衡时,所述密封阀门可以自由打开,当所述密封阀门两侧的压力不平衡时,所述密封阀门不能打开。 |
申请公布号 |
CN204358220U |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201420807324.1 |
申请日期 |
2014.12.17 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
周琦;计骏 |
分类号 |
F16K31/12(2006.01)I;F16K17/20(2006.01)I |
主分类号 |
F16K31/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种密封阀门,其特征在于,包括:一气缸及一阀杆,所述气缸上设置有一凸出开口,所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸,所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动,所述气缸上设置有第一进气管和第二进气管,所述第一进气管位于所述第二进气管靠近所述凸出开口的一侧,所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀,所述第二进气管上设置有第二气动阀。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |