发明名称 |
正型光敏组合物 |
摘要 |
本申请公开了一种正型光敏组合物,基于100重量份的聚酰胺衍生物,所述光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物,和5到30重量份的光致生成酸化合物。 |
申请公布号 |
CN102141732B |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201110004262.1 |
申请日期 |
2011.01.11 |
申请人 |
韩国锦湖石油化学株式会社 |
发明人 |
姜锡灿;李进翰 |
分类号 |
G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
李中奎;黄志华 |
主权项 |
一种光敏树脂组合物,基于100重量份的聚酰胺衍生物,该光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物,和5到30重量份的光致生成酸化合物,其中所述聚酰胺衍生物化合物由以下化学式2表示:[化学式2]<img file="FDA0000588115310000011.GIF" wi="1501" he="263" />其中R<sup>1</sup>表示下述化学式6表示的基团,且这些基团可单独或者组合使用,R<sup>2</sup>表示下述化学式7表示的基团,且这些基团可单独或者组合使用;R<sup>3</sup>表示氢原子或者具有1到10个碳原子的烷基;l表示10到1000的整数;n和m各自独立地表示0到2的整数,n+m>0;X是下面的化学式5所表示的基团中的至少一个:[化学式5]<img file="FDA0000588115310000012.GIF" wi="1584" he="891" />[化学式6]<img file="FDA0000588115310000021.GIF" wi="1532" he="2035" />其中,R<sup>6</sup>是氢原子、卤原子、羟基、羧基、硫醇基、具有1到10个碳原子的烷基以及具有1到10个碳原子的芳基中的一种,以及[化学式7]<img file="FDA0000588115310000031.GIF" wi="2006" he="1482" />其中,R<sup>7</sup>是氢原子、卤原子、羟基、羧基、硫醇基、具有1到10个碳原子的烷基以及具有1到10个碳原子的芳基中的一种。 |
地址 |
韩国首尔 |