| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는 모듈군 중 순서가 작은 모듈로부터 순서가 큰 모듈로 기판이 순차적으로 반송되는 반송 사이클이 반복해서 행해지는 기판 처리 장치에 있어서, 사용 불가의 모듈이 발생하고 그 후 당해 모듈이 사용 가능하게 되었을 때에, 높은 처리량으로 기판을 처리할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.멀티 모듈의 하나 앞의 모듈로부터 반출된 기판을, 멀티 모듈을 구성하는 모듈군 중 당해 기판의 반출 시에 가장 가까운 타이밍에 기판이 반입된 모듈에 대해, 상기 기판의 반입 순서에 있어서 다음의 모듈로 반입하도록 반송 수단을 제어한다.</p> |
