| 摘要 |
<p>접착시트(S)가 첩부된 반도체 웨이퍼(W)를 지지하는 지지 수단(11)과, 접착시트(S)에 박리용 테이프(T)를 첩부하는 테이프 첩부 수단(14)과, 박리용 테이프(T)를 잡아당기는 잡아당김 수단(13)과, 접착시트(S) 위에 위치하는 가이드 부재(41)에 감아 장착된 엔드리스 부재(45)를 포함하는 박리 보조 수단(15)과, 엔드리스 부재(45) 사이에 접착시트(S)를 끼워넣는 끼워넣기 수단(16)에 의해 시트 박리 장치(10)가 구성되어 있다. 이 시트 박리 장치(10)는, 박리 보조 수단(15)과 끼워넣기 수단(16) 사이에 접착시트(S)를 끼운 상태에서, 잡아당김 수단(13)과 지지 수단(11)의 상대이동에 의해 접착시트(S)가 박리된다.</p> |
