主权项 |
一种敏辐射线性树脂组成物,包含含有选自以下述式(1)、式(2)及式(3)表示之重复单位之至少一种重复单位(i)、以下述式(4)表示之重复单位(ii)、及选自以下述式(5)及式(6)表示之重复单位之至少一种重复单位(iii),且重复单位(iii)之含有比例在20莫耳%以上之聚合物(A)以及溶剂(D),
(式(1)、式(2)及式(3)中,R1彼此独立表示氢原子或甲基,R2彼此独立表示碳数1~12之直链状或分支状烷基、碳数1~12之直链状或分支状烷氧基,或碳数3~25之脂环式烃基,R2以复数个存在时,其复数个R2彼此可相同亦可不同,p为0~3之整数,q为1~3之整数,p+q≦5),(式(4)中,R3表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基,至少一个Rf表示氟原子或碳数1~10之直链状或分支状全氟烷基,该Rf可彼此相同亦可不同,A表示酯键或单键,G表示碳数1~5之伸烷基或碳数6~10之二价脂环式烃基,M+表示金属离子或一价鎓阳离子,n为1~8之整数)(式(5)及式(6)中,R6~R11可相同亦可不同,表示氢原子或氟原子,R6~R11之至少一个为氟原子,R12表示氢原子或碳数1~12之直链状或分支状烷基,
式(5)中,R4表示氢原子或甲基,R5彼此独立表示碳数1~12之直链状或分支状烷基、碳数1~12之直链状或分支状烷氧基,或碳数3~25之脂环式烃基,r为0以上之整数,s为1以上之整数,r+s≦5,式(6)中,R13表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基,B表示碳数1~40之直链状、分支状或环状之二价烃基)。 |