| 主权项 |
一种基板处理系统，系处理基板者，其包含以下元件：基板处理装置，系具有：基板处理单元，其对基板进行既定处理；装载口，其具有载置用以收纳基板之收纳器之实体装载口，在与上述基板处理单元之间接收传送收纳器；以及内部缓冲区，其介存于上述基板处理单元与上述装载口之间，在与上述基板处理单元之间接收传送基板，在与上述装载口之间接收传送收纳器，同时，在接收传送之际暂时收容收纳器；载具搬送系统，系于其与上述装载口之间接收传送收纳器；以及主机电脑，系于其与上述基板处理装置及上述载具搬送系统之间进行通信，根据上述基板处理装置之状况，指示藉由上述载具搬送系统进行收纳器之搬送；上述基板处理装置系具备对载具搬送系统控制部，系在上述装载口因一个收纳器而使用中之情况下，在与该装载口之间用于授受其他收纳器之载具搬送系统的移动机具到来时，直到藉由上述一个收纳器所造成之该装载口的使用结束为止，不通知不可接收，藉此使上述移动机具待机。
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