| 主权项 |
一种碰撞防止方法，系用于在机械手将收容于被载置在任意之载体载置台的任意之基板载体内之基板取出时，防止前述机械手与前述基板碰撞，其特征在于：包含针对具有收容前述基板之一对棚部的前述基板载体中的至少部分棚，测定与预先决定之基准值在高度、棚节距、棚水平度之差之步骤C；根据前述步骤C之资料，求取前述棚之水平度及前述两棚部之各棚高度，并将求得之资料以写入手段写入前述基板载体所具备之ID资讯保持手段之步骤E1；事先决定载置前述基板载台之任意之前述载体载置台之基准高度，于该载体载置台载置已在前述步骤E1写入资料之任意前述基板载体，以载体载置台读入该基板载体之ID资讯保持手段，并将预先决定之前述基准高度及前述步骤E1之资料送至主电脑之步骤F1；以前述主电脑根据前述送来之各资料决定前述机械手之进出位置，将该进出位置告知机械手之步骤G；根据前述告知资料，在前述机械手与载置于任意前述载体载置台之任意前述基板载体之间进行基板之出入。
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