研磨监视方法、研磨方法、研磨监视装置及研磨装置

摘要

本发明提供一种能够正确地监视研磨的进展、还能够检测正确的研磨终点的方法。本方法在基板的研磨中对基板照射光，受光来自基板的反射光，对各波长测量反射光的强度，由强度的测量值生成表示强度与波长之间的关系的波谱，计算出每规定时间的波谱的变化量，将波谱的变化量沿着研磨时间累积而计算出波谱累积变化量，基于波谱累积变化量监视基板的研磨的进展。

主权项

一种研磨监视方法，监视具有膜的基板的研磨，其特征在于，在基板的研磨中对上述基板照射光；接收来自上述基板的反射光；按各波长测量上述反射光的强度；由上述强度的测量值生成表示强度与波长之间的关系的波谱；计算出每规定时间的上述波谱的变化量；将上述波谱的变化量沿着研磨时间累积而计算出波谱累积变化量；基于上述波谱累积变化量监视上述基板的研磨的进展。