用于焊料凸块模具填充的真空转移

摘要

本公开涉及一种接合金属注入工具，所述接合金属注入工具可以包括填充头，填充头具有用于容纳熔融接合金属(例如，焊料)和气体的密封腔室以及用于引导熔融接合金属流入模具的主表面内的型腔中的喷嘴。压力控制设备能够可控地向腔室内施加压力以将接合金属从喷嘴喷入型腔内。压力控制设备还可以可控地降低腔室内的压力以用于诸如在将填充头从驻留位移动到模具表面上时或者在将填充头从模具表面上移走送到驻留位上时阻止从喷嘴中喷出接合金属。

主权项

一种接合金属注入工具，包括：填充头，具有用于容纳熔融接合金属和气体的密封腔室，以及用于引导熔融接合金属流入模具的主表面内的型腔中的喷嘴；以及压力控制设备，可操作用于将腔室内的压力可控地改变为第一水平以将接合金属从喷嘴喷入型腔内，以及将腔室内的压力可控地改变为第二水平以在压力处于第二水平时阻止从喷嘴中喷出接合金属，其中压力控制设备可操作用于在喷嘴的开口与主表面或型腔中的至少一个并列时从喷嘴中喷出接合金属以及在喷嘴的开口未与主表面或型腔中的至少一个并列时阻止喷射接合金属，其中填充头具有与模具并列并且由其密封的表面，填充头进一步包括在并列表面上的用于排空模具型腔中的至少一个的孔，其中所述孔沿喷嘴开口跨主表面移动的方向位于喷嘴开口之前，从而允许在将接合金属喷入至少一个模具型腔内之前先排空所述至少一个模具型腔。