有机无机混合型晶体管

摘要

本发明公开了一种有机无机混合型晶体管，包含可挠性基板、栅极、有机栅极介电层、氧化物半导体层、第一保护层、源极及漏极。栅极配置在可挠性基板上。有机栅极介电层覆盖栅极以及可挠性基板的一部分。氧化物半导体层配置在有机栅极介电层上方。第一保护层夹置在氧化物半导体层与有机栅极介电层之间，且接触氧化物半导体层及有机栅极介电层。源极及漏极分别连接氧化物半导体层的不同两侧。

主权项

一种有机无机混合型晶体管，其特征在于，包含：可挠性基板；栅极，其配置在上述可挠性基板上；有机栅极介电层，其覆盖上述栅极以及上述可挠性基板的一部分；氧化物半导体层，其配置在上述有机栅极介电层上方，其中在垂直上述可挠性基板的一方向上，该氧化物半导体层与上述栅极重叠；第一保护层，其包含无机材料，该第一保护层夹置在上述氧化物半导体层与上述有机栅极介电层之间，且接触上述氧化物半导体层及上述有机栅极介电层；以及源极及漏极，其分别连接上述氧化物半导体层的不同两侧。