| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 코터 장치에 관한 것으로, 약액이 도포되는 다수의 도포 영역이 구분되게 정해져 있는 피처리 기판에 약액을 도포하는 기판 코터 장치로서, 상기 피처리 기판을 흡입 고정하여 거치하되, 힌지점을 중심으로 회전 가능하게 설치된 기판 척과; 상기 피처리 기판이 상기 기판 척에 거치되면, 상기 도포 영역의 위치를 감지하는 도포영역 위치감지부와; 상기 기판 척을 제1이동방향으로 이동시키는 제1이동유닛과; 상기 기판 척을 상기 제1이동방향과 평행하지 않은 제2이동방향으로 이동시키는 제2이동유닛과; 상기 기판 척을 상기 제1힌지점을 중심으로 회전 이동시키는 회전이동유닛과; 상기 도포영역 위치감지부로부터의 정보를 수신하여 상기 제1이동유닛과, 상기 제2이동유닛과, 상기 회전이동유닛을 구동시켜 상기 피처리 기판의 상기 도포 영역이 상기 기판척 상에서 예정된 위치 및 자세가 되도록 제어하는 제어부를; 포함하여 구성되어, 피처리 기판을 기판 척에 위치 고정시킨 후에, 제1이동유닛과, 제2이동유닛과, 회전이동유닛으로 피처리 기판을 흡입 고정하는 기판 척을 직선 및 회전 이동시킴으로써, 피처리 기판의 다수의 도포 영역이 정해진 위치와 자세로 틀어짐 없이 정확하게 위치할 수 있게 함으로써, 일정한 패턴으로 이동하는 슬릿 노즐에 의해서도 도포 영역에 정확하게 약액을 도포할 수 있는 기판 코터 장치를 제공한다.</p> |
