主权项 |
一种环氧树脂多模光波导的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1) 清洗FR4基片;(2) 制作光波导下包层;<img file="256744dest_path_image001.GIF" wi="16" he="21" />在FR4基片上涂敷折射率为1.50±0.005的包层环氧树脂,涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡;<img file="96524dest_path_image002.GIF" wi="16" he="21" />除去气泡后利用匀胶机制成具有一定厚度的均匀下包层薄膜,并使用紫外光刻机曝光固化,制成表面光滑平整的光波导下包层;(3)光波导芯层的制作;<img file="46026dest_path_image001.GIF" wi="16" he="21" />在光波导下包层上涂敷折射率为1.52±0.005的芯层环氧树脂,涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡;<img file="931942dest_path_image002.GIF" wi="16" he="21" />除去气泡后用匀胶机旋涂制成具有一定厚度的均匀芯层薄膜,使用光刻机采用非接触式光刻法对芯层薄膜曝光,曝光后进行前烘烤;<img file="789040dest_path_image003.GIF" wi="16" he="21" />前烘烤完成后,采用一种特别配制的有机溶剂对样品进行显影,最后制成表面光滑、侧壁笔直、具有一定几何形状的脊形光波导;且其横截面尺寸为50μm×50μm;<img file="952168dest_path_image004.GIF" wi="16" he="21" />对脊形光波导芯层再进行紫外曝光以便进一步固化脊形光波导;(4) 制作光波导上包层;<img file="603729dest_path_image001.GIF" wi="16" he="21" />在已经制作脊形光波导的样品上涂敷折射率为1.50±0.005的包层环氧树脂,涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡;<img file="242521dest_path_image002.GIF" wi="16" he="21" />除去气泡后利用匀胶机旋涂制成具有一定厚度的均匀上包层薄膜,该薄膜的厚度确保完全覆盖波导芯层,使用紫外光刻机对上包层进行曝光固化,制成表面光滑平整的光波导上包层;<img file="106571dest_path_image003.GIF" wi="16" he="21" />对样品进行后烘烤。 |