一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法

摘要

本发明涉及一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器。本发明实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反射镜结构，只需一次反射即可完成扫描工作，避免了双镜反射带来的误差放大效应。同时，本发明采用两输入两输出结构，控制上较现有技术容易很多；还采用了三组X-Y框架式结构，可以有更大的刚度和偏转角度；又由于采用了二维PSD位置传感器作为反射镜法向位置的反馈装置实现全闭环，可以达到很高的精度。本发明提供的一种两自由度高速并联扫描平台具有精度高、刚度大，承载能力强的特点。

主权项

一种两自由度高速并联扫描平台，其特征在于，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器；所述直线驱动机构包括音圈电机、活动框架和导轨；所述活动框架旋转连接于机壳上，所述导轨旋转连接于活动框架上，所述音圈电机固定于导轨内；所述反射镜轴机构包括主轴、反射镜、反射镜支架、调平螺钉和激光发射器，所述主轴为一端直径较大一端直径较小的阶梯轴，其轴心处具有一轴向的通孔，所述反射镜固定于反射镜支架上，反射镜支架通过多个调平螺钉固定于主轴大轴端的端面，所述激光发射器固定于主轴轴心处的通孔内，其激光发射方向沿主轴的轴心穿过通孔，指向主轴的小轴端；所述反射镜活动框架包括内框和外框，所述主轴的大轴端绕第一轴线旋转连接于内框中部，所述内框绕第二轴线旋转连接于外框中部，所述外框固定于机壳上；其中，第一轴线与第二轴线位于同一平面且相互正交；所述PSD位置传感器固定于机壳上，与主轴的小轴端相对设置；两个直线驱动机构活动安装于机壳内，分别为第一直线驱动机构和第二直线驱动机构，所述第一直线驱动机构和第二直线驱动机构的运动输出端分别沿第一轴线和第二轴线方向与主轴连接，驱动主轴在反射镜活动框架上相对于机壳摆动。