| 发明名称 | 一种全自动电子束沉积系统 | ||
| 摘要 | 本发明属于玻璃、塑料和陶瓷基体上镀各类薄膜的技术领域，具体地说是一种全自动电子束沉积系统。包括工艺腔、装载腔、传输腔、真空抽气系统及全自动传输机构，其中工艺腔、装载腔及传输腔依次相连通，所述工艺腔、装载腔及传输腔均与真空抽气系统连接，所述全自动传输机构将样品基片在工艺腔和装载腔中自动取放。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次换取样品载板后的抽气时间，让工艺腔的工艺过程与装载腔取放样品载板同时进行，并且除工艺腔门，装载腔门在洁净间以外其他的部分都可以放到普通环境中，使成本更低。 | ||
| 申请公布号 | CN104630719A | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201310567681.5 | 申请日期 | 2013.11.13 |
| 申请人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明人 | 雷震霖;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 何丽英 |
| 主权项 | 一种全自动电子束沉积系统，其特征在于：包括工艺腔(2)、装载腔(5)、传输腔(7)、真空抽气系统及全自动传输机构，其中工艺腔(2)、装载腔(5)及传输腔(7)依次相连通，所述工艺腔(2)、装载腔(5)及传输腔(7)均与真空抽气系统连接，所述工艺腔(2)和装载腔(5)内的样品基片通过全自动传输机构自动取放。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号 | ||