发明名称 多轨进料的旋转式晶粒检测设备
摘要 本发明涉及一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备,主要包括转动架、多个晶粒取放装置、多个进料装置、多个检测站以及多个分类站。其中,多个晶粒取放装置等距地环设于转动架上;多个进料装置、多个检测站和多个分类站等距地环设于该转动架的径向延伸方向上。其中,晶粒取放装置到进料装置取得晶粒后,转动架旋转而将晶粒移载至检测站进行测试,接着又旋转移载晶粒至分类站放置晶粒,而分类站对晶粒进行分类。据此,本发明以同时多轨进料以及旋转进给移载的方式,逐一地对晶粒进行测试和分类,实为一高效率的连续检测和分类技术。
申请公布号 CN104637840A 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201410059941.2 申请日期 2014.02.21
申请人 台北歆科科技有限公司 发明人 黄德崑
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人 刘激扬
主权项 一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备,包括:转动架,其包括中心轴,该转动架沿着该中心轴旋转;多个晶粒取放装置,其等距地环设于该转动架上;多个进料装置,其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上,每一进料装置邻近该转动架的一侧包括一晶粒拾取区;多个检测站,其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上;以及多个分类站,其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上;其中,该多个晶粒取放装置分别到该多个进料装置的所述晶粒拾取区上取得晶粒后,该转动架旋转,而该多个晶粒取放装置将该晶粒移载至所述多个检测站进行测试,该转动架又旋转,而所述多个晶粒取放装置移载该晶粒至所述多个分类站放置该晶粒,所述多个分类站对该晶粒进行分类。
地址 中国台湾新北市新店区中正路四维巷2弄4号5楼