| 发明名称 | 聚合物蚀刻剂及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于蚀刻聚合物材料的包含水溶液的组合物，所述水溶液包含碱金属盐和甘氨酸。 | ||
| 申请公布号 | CN103189470B | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201180052625.7 | 申请日期 | 2011.10.18 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 拉维·帕拉尼斯瓦米 |
| 分类号 | C09K13/02(2006.01)I;C09K13/00(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;李德山 |
| 主权项 | 一种组合物，所述组合物包含：用于蚀刻聚合材料的水溶液，所述水溶液包含碱金属化合物和甘氨酸，其中所述碱金属化合物选自氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化铯或者它们的混合物；并且所述聚合材料选自聚碳酸酯、液晶聚合物、聚酰亚胺、聚酯、或聚酰胺‑酰亚胺。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||