| 发明名称 |
Lineare Mikrowellenplasmaquelle mit Permanentmagneten |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69911667(T2) |
申请公布日期 |
2004.08.19 |
| 申请号 |
DE19996011667T |
申请日期 |
1999.01.25 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
DELAUNAY, MARC |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
