| 发明名称 | 反射镜 | ||
| 摘要 | 具有分片总表面区的反射镜，其中分片形成非周期布置。 | ||
| 申请公布号 | CN104641296A | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201380048023.3 | 申请日期 | 2013.08.30 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | I.萨恩杰;J.劳夫;M.恩德雷斯;T.艾森曼 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 具有分片总表面区(24)的反射镜(20)，包含：a.多个第一区域(22)；以及b.至少一个第二辐射反射式区域(23)，c.其中，所述第一区域分别在结构上由所述至少一个第二区域定界且因此被周向环绕，d.其中，所述第一区域(22)非周期地布置，并且e.其中，所述第一区域(22)具有在1mm至20mm范围内的直径。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||