一种高温气氛旋转炉及其在AlON粉体制备中的应用

摘要

本发明属于高温气氛炉领域，提供了一种高温气氛旋转炉，包括炉体，位于炉体内的坩埚和加热保温组件，所述炉体上设置有进气管、放气管及真空阀，还包括驱动坩埚旋转的电机，所述炉体和坩埚卧式放置，坩埚的一端通过连接轴与位于炉体外的电机的动力输出轴相连，所述加热保温组件环绕坩埚安装并通过固定于炉体上的支架支承。本发明还提供了一种所述高温气氛旋转炉在AlON粉体制备中的应用，使用该炉制备AlON粉体，能降低反应温度、缩短反应时间，节约生产成本。

主权项

一种高温气氛旋转炉，包括炉体(1)，位于炉体内部的坩埚(4)和加热保温组件(5)，驱动坩埚旋转的电机(2)，其特征在于所述炉体上设置有进气管(6)、放气管(7)及真空阀(8)；所述坩埚(4)由坩埚主体(41)和端盖(42)组成，坩埚主体为一端封闭、一端开口的筒状体，端盖与坩埚主体的开口端匹配并设置有通气孔(44)，坩埚主体(41)由石墨制作或者以石墨为基体，在基体内腔表面覆盖高纯氧化铝层或者钽层；所述加热保温组件(5)包括保温层(52)、环绕在保温层外部的支撑层(51)和缠绕在支撑层上的感应线圈(53)；所述炉体(1)和坩埚(4)卧式放置，坩埚的一端通过连接轴(3)与位于炉体外的电机(2)的动力输出轴相连，所述加热保温组件环绕坩埚安装并通过固定于炉体上的支架(9)支承。