ＥＵＶレチクルのアクチニック検査のためのレチクル位置決めデバイスの構成

摘要

アクチニックＥＵＶレチクル検査のためのレチクル位置決め装置は、レチクルを保持するためのレチクルステージを収容する密封された検査チャンバを含む。レチクルステージは、「ｙ」方向の長い移動をもつ磁力で浮かされる上側ステージ及び「ｘ」方向の長い移動をもつ磁力で浮かされる下側ステージと、検査チャンバからケーブルチャンバ壁によって隔てられるケーブルステージチャンバとを有する。ケーブルステージチャンバは、「ｙ」方向に移動可能なケーブルステージと、一方の端でレチクルステージに接続され、他方の端でケーブルステージに接続される、チューブとを有する。チューブは、ケーブルステージからチャンバ壁のシールを通して検査チャンバに通され、ケーブルステージチャンバ内にケーブル及びホースを受け入れるためにケーブル受入チャンバに通じ、ケーブル及びホースはチューブに通してレチクルステージに通される。