发明名称 成膜罩体及成膜罩体之制造方法
摘要 本发明系一种成膜罩体,构成上具备有:树脂制膜1,形成贯通之复数开口图案4,并设有框状金属薄膜5,该框状金属薄膜5于一面具有大小可内包复数开口图案4的开口;金属罩体2,于膜1之一面1a侧对应于金属薄膜5之开口的位置处系和膜1呈分离独立而设置,且设置有大小可内包复数开口图案4当中至少一个开口图案4的复数贯通孔6;以及金属框3,位于膜1之一面1a侧,设置有大小可内包金属罩体2之复数贯通孔6的开口部7而形成为框状,在张设膜1以及金属罩体2之状态下,将金属薄膜5之部分以及金属罩体2之周缘部区域点焊接于一端面3a来支撑膜1以及金属罩体2。
申请公布号 TW201518522 申请公布日期 2015.05.16
申请号 TW103122481 申请日期 2014.06.30
申请人 V科技股份有限公司 V TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 水村通伸 MIZUMURA, MICHINOBU
分类号 C23C14/04(2006.01);H01L51/50(2006.01);H05B33/10(2006.01) 主分类号 C23C14/04(2006.01)
代理机构 代理人 林秋琴陈彦希
主权项
地址 日本 JP