用于改进制造产量之基于事件处理的系统;EVENT PROCESSING BASED SYSTEM FOR MANUFACTURING YIELD IMPROVEMENT

摘要

事件处理系统在制造制程中，识别与已识别缺陷相关联的处理事件。事件处理系统依据处理事件，从制造资料来源选择复数个资料元件。在制造制程执行期间，制造资料来源与制造制程相关联。在制造制程执行期间，事件处理系统将事件规则应用到复数个资料元件，以决定是否符合事件规则。在制造制程执行期间，事件处理系统在决定符合事件规则后，即进行预定动作，及在决定不符合事件规则后，即从制造资料来源选择附加资料元件。