用于精细特征图样标记的高解析数位方式地编码雷射扫描器之最佳化;OPTIMIZATION OF HIGH RESOLUTION DIGITALLY ENCODED LASER SCANNERS FOR FINE FEATURE MARKING

摘要

本文中揭示雷射扫描系统及其用法。于某些实施例中，雷射扫描系统能够被用来烧蚀性或非烧蚀性扫描一材料的一表面。某些实施例包含扫描一多层结构的方法。某些实施例包含平移一聚焦调整光学系统，用以改变雷射射束直径。某些实施例利用一20位元雷射扫描系统。