一种直拉硅单晶炉水冷盘

摘要

本实用新型提供一种直拉硅单晶炉水冷盘，该水冷盘为中间设有通孔的环状体，包括上端开口的环状底盘和固设于所述底盘上端开口处的环状封板，底盘由一体成型的环状底板、环形内侧围板、环形外侧围板以及分布在内侧围板和外侧围板中间的至少一个环形挡板组成；内侧围板和外侧围板中间还设置直形挡板，底板、封板、直形挡板以及至少一个环形挡板形成一个蛇状水流槽，外侧围板上位于水流槽的两端分别设置进水孔和出水孔。本实用新型解决了现有技术中的水冷套结构带来的单晶炉功耗大，以及现有技术中的水冷套结构复杂、存在较大安全隐患的问题。

主权项

一种直拉硅单晶炉水冷盘，其特征在于，所述水冷盘为中间设有通孔的环状体，包括上端开口的环状底盘和固设于所述底盘上端开口处的环状封板，所述底盘由一体成型的环状底板、环形内侧围板、环形外侧围板以及分布在所述内侧围板和所述外侧围板中间的至少一个环形挡板组成；所述内侧围板和所述外侧围板中间还设置直形挡板，所述底板、所述封板、所述直形挡板以及至少一个所述环形挡板形成一个蛇状水流槽，所述外侧围板上位于所述水流槽的两端分别设置进水孔和出水孔。