| 发明名称 |
p型氧化锌材料的制备方法 |
| 摘要 |
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤：强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜；通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子，同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的；通过再次弱氧化气氛退火，实现富余间隙一价原子的脱除，以消除材料中的不稳定浅施主。该方法能够获得高空穴浓度和高稳定性的p型氧化锌材料。 |
| 申请公布号 |
CN102719893B |
申请公布日期 |
2015.05.13 |
| 申请号 |
CN201210201820.8 |
申请日期 |
2012.06.18 |
| 申请人 |
中国科学院福建物质结构研究所 |
发明人 |
黄丰;丁凯;林文文;张继业;郑清洪;黄嘉魁;黄瑾;湛智兵;陈达贵 |
| 分类号 |
C30B31/00(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;H01L21/477(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
p型氧化锌材料的制备方法，包括如下步骤：(1)在氧化性气氛获得含高浓度锌空位的前体氧化锌材料；(2)在还原性气氛下利用一价元素Li填充前体材料中的锌空位；(3)在弱氧化性气氛去除晶格中富余的间隙型掺杂原子； |
| 地址 |
350002 福建省福州市杨桥西路155号 |
