电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法

摘要

一种电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法，该制作方法包括：提供一基底，其中基底上包括一下电极层、一电阻转换层、一上电极层和一第一罩幕；形成一层间介电层于基底上方；形成一第二罩幕于层间介电层上；利用第二罩幕作为蚀刻罩幕，蚀刻层间介电层，以形成一开口，其暴露第一罩幕；形成一间隙壁层于开口的底部和侧壁上；移除开口底部上的部分间隙壁层；进行一等向性蚀刻，移除开口中的部分第一罩幕。本发明可解决电阻式非挥发性存储装置的制造工艺相关的问题，获得较佳的可靠度。

主权项

一种电阻式非挥发性存储器装置的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供一基底，其中该基底上包括一下电极层、一电阻转换层、一上电极层和一第一罩幕；形成一层间介电层于该基底上方；形成一第二罩幕于该层间介电层上；利用该第二罩幕作为蚀刻罩幕，蚀刻该层间介电层，以形成一开口，其暴露该第一罩幕；形成一间隙壁层于该开口的底部和侧壁上；移除开口底部上的部分间隙壁层；及进行一等向性蚀刻工艺，移除该开口中的该第一罩幕。