| 摘要 |
Bei einem Probenbeobachtungsverfahren wird eine Probe mit einem Strahl primärer geladener Teilchen bestrahlt, wird ein durch die Bestrahlung erhaltenes Signal sekundärer geladener Teilchen detektiert und wird die Probe beobachtet. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass der Strahl primärer geladener Teilchen, der in einem in einem Vakuumzustand gehaltenen Tubus der optischen Linse für geladene Teilchen erzeugt wird, von einem Trennfilm durchgelassen wird oder dadurch hindurchtreten gelassen wird, welcher angeordnet ist, um einen Raum, in dem sich die Probe befindet, vom Tubus der optischen Linse für geladene Teilchen zu isolieren, und ein durchgelassener Strahl geladener Teilchen detektiert wird, der durch Bestrahlen der Probe, die in einem Atmosphärendruck oder einer vorgegebenen Gasatmosphäre mit einem leichten Unterdruck gegenüber dem Atmosphärendruck angeordnet ist, mit dem Strahl primärer geladener Teilchen erhalten wird. |
