Polierzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Substrats

摘要

Eine Polierzusammensetzung umfasst ein wasserlösliches Polymer mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 1000000 oder weniger und einer Molekulargewichtsverteilung dargestellt durch das gewichtsmittlere Molekulargewicht (Mw)/zahlenmittlere Molekulargewicht (Mn), von weniger als 5,0. Die Polierzusammensetzung mit hauptsächlich in Anwendungen zum Polieren eines Substrats eingesetzt, vorzugsweise bei Anwendungen zur Durchführung des Feinpolierens des Substrats.