一种J型阴极磁控溅射靶

摘要

本实用新型公开了一种用于战机座舱罩镀膜的J型阴极磁控溅射靶，包括旋转盘、J型基架、靶材、充气管、辉光放电电极。所述旋转盘支撑整个靶，可旋转180°。所述J型基架是溅射靶的主要部分，设计为两个并排结构。所述J型基架的圆弧面用许多片所述靶材覆盖，内部填充永久磁体。所述J型基架左侧端面用螺栓固定两条所述充气管，右侧端面用螺栓固定两条所述辉光放电电极。本实用新型J型阴极磁控溅射靶，形状符合飞机座舱罩曲面外形，能够实现对复合曲面的飞机座舱罩外表面快速、均匀的大面积镀膜，确保其导电率和透光率。

主权项

一种J型阴极磁控溅射靶，其特征在于：包括旋转盘(1)、J型基架(2)、靶材(3)、充气管(4)、辉光放电电极(5)，所述J型基架(2)固定在所述旋转盘(1)上，所述J型基架(2)圆弧面用许多片所述靶材(3)覆盖，内部填充永久磁体，所述J型基架(2)左侧端面用螺栓固定两条所述充气管(4)，右侧端面用螺栓固定两条所述辉光放电电极(5)。