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제1도전형의 제1반도체영역과, 제1반도체영역의 위에 배치된 제2도전형의 제2반도체영역과 제2반도체영역의 위에 배치된 제1도전형의 제3반도체영역과, 제3반도체영역의 위에 배치된 제2도전형의 제4반도체영역과, 제4반도체영역의 상면으로부터 신장하여 제4반도체영역 및 제3반도체영역을 관통하여 제2반도체영역까지 도달하는 홈의 내벽상에 배치된 절연막과, 홈의 측면에 있어서 절연막상에 배치되어, 제3반도체영역과 대향하는 제어전극과, 제1반도체영역과 전기적으로 접속하는 제1주전극과, 제4반도체영역과 전기적으로 접속하는 제2주전극과, 홈의 저면에 있어서 절연막의 위에 배치되고, 또한 제어전극과 이간하여 배치된 저면전극과을 구비하고, 평면에서 볼 때에 있어서 홈이 신장하는 방향의 길이는 홈의 폭보다도 크고, 또한, 서로 인접하는 상기 홈의 간격보다도 상기 홈의 폭이 넓다. |
