单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法

摘要

本发明涉及一种单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法。微马达包括致动单元和滑杆两部分。致动单元包括致动器、驱动杆和驱动头，致动器可以是电热致动器，也可以是静电致动器、电磁致动器和压电制动器等任意能产生往复运动的致动器。滑杆为微马达的输出构件，通过防黏附凸块支撑在衬底上，垂直衬底方向用约束罩约束。微马达由单对致动器驱动实现前进和后退的双向运动，用MEMS表面硅工艺制作、无需装配、结构简单，可应用在通讯、航空航天、生物医学等领域。

主权项

一种单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，包括致动单元和滑杆（5），其特征在于：所述致动单元由冷热臂电热致动器（8a、8b）、驱动杆（4a、4b）和驱动头（3a、3b）组成；冷热臂电热致动器（8a、8b）的一端通过锚点（7a、7b，7c、7d）固定在硅衬底上，另一端与驱动杆（4a、4b）相连，驱动杆（4a、4b）的端部为方形驱动头（3a、3b），驱动头（3a、3b）与滑杆（5）之间有间隙，所述滑杆（5）为浮动杆，由两个纵向约束罩（1a、1b）约束，纵向约束罩（1a、1b）通过锚点（2a、2b，6a、6b）固定在硅衬底上，所述冷热臂电热致动器（8a、8b）的锚点（7a、7b，7c、7d）同时也是微马达的供电电极。