一种微阀

摘要

本发明公开了一种微阀，属于微电子机械领域，解决了微阀使用热执行器致动的稳定性问题，采用的主要技术方案包括壳体、阀体及外围磁体，阀体由第一层、第二层和第三层组成，第一层和/或第三层设有阀口共两个，第二层包括固定部和可动部，固定部与第一层和第三层固定连接，可动部通过第一支承梁和第二支承梁与固定部连接，第一支承梁在横向上的刚度大于在纵向上的刚度，第二支承梁在横向上的刚度小于在纵向上的刚度，可动部设有连接腔，第二层包括使可动部相对固定部转动的致动组件，本发明主要用于微流体的流量控制。

主权项

一种微阀，包括壳体（2）、设于壳体中的阀体（1）及设于壳体外侧的外围磁体（3），所述阀体由依次层叠设置的第一层（11）、第二层（12）和第三层（13）组成，所述第一层或第三层设有两个阀口（14）或者第一层和第三层各设有一个阀口，所述第二层包括固定部（121）和可动部（122），所述固定部与第一层和第三层固定连接，所述可动部通过连接组件与固定部连接，所述可动部设有连接腔（1221），连接腔与阀口相对应，所述第二层还包括使可动部相对固定部转动的致动组件，其特征在于：所述连接组件包括第一支承梁（123）和第二支承梁（124），所述第一支承梁的一端与固定部连接、另一端与可动部远离连接腔的一端连接，所述第一支承梁在横向上的刚度大于在纵向上的刚度，所述第二支承梁的一端与固定部连接、另一端与可动部靠近连接腔的一端连接，所述第二支承梁在横向上的刚度小于在纵向上的刚度；所述致动组件包括电极（125）和导电体（126），所述电极设于固定部并设有两个，导电体的一端与一个电极电连接、然后沿着第一支承梁、可动部和第二支承梁延伸、另一端与另一个电极电连接，导电体位于可动部上的部分与可动部固定为一体。