吸着ノズル及びその異常検出装置

摘要

吸着ノズル１１のノズルホルダ１２に、ノズルピストン１６の上下動により開閉されるエアー流路２２が形成され、該ノズルホルダ１２を保持する装着ヘッド１３に、該ノズルホルダ１２のエアー流路２２にエアーを供給するエアー供給路２８が形成され、該エアー供給路２８を流れるエアー流量を検出する流量センサ２７が設けられている。この流量センサ２７の出力信号に基づいてノズルホルダ１２のエアー流路２２を流れるエアー流量を監視して、ノズルピストン１６の上下動作の不良（固着）を検出する。