弾性表面波素子及びそれを備えた複合モジュール

摘要

バルク波による弾性表面波素子のフィルタ特性の劣化を抑制する。櫛歯電極１６を一方主面１２に形成した圧電基板１０と、櫛歯電極１６の周囲に形成された絶縁層１８と、絶縁層１８と櫛歯電極１６の上部に配置されるカバー層２０と、絶縁層１８とカバー層２０を貫通し、接続配線２１を介して櫛歯電極１６に接続される柱状電極２２と、を含み、圧電基板の他方主面１４に緩衝層２６を配置されることを特徴とする弾性表面波素子。