圧電体膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法

摘要

本発明は、高い結晶配向性、低い誘電損失、高い分極消失温度、高い圧電定数、ならびに印加電界および歪み量の間の高い線形性を有する非鉛圧電体膜を提供する。本発明は、以下を具備する圧電体膜である。本発明は、圧電体膜であって、以下を具備する：（００１）面配向のみを有するＮａｘＬａ１−ｘ＋ｙＮｉ１−ｙＯ３−ｘ層、および（００１）面配向のみを有する（１−α）（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ３—αＢｉＱＯ３層。前記（１−α）（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ３—αＢｉＱＯ３層は、前記ＮａｘＬａ１−ｘ＋ｙＮｉ１−ｙＯ３−ｘ層上に形成されている。Ｑは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ０．５Ｔｉ０．５、またはＭｇ０．５Ｔｉ０．５を表す。ｘは０．０１以上０．０５以下の値を表す。ｙは０．０５以上０．２０以下の値を表す。αは０．２０以上０．５０以下の値を表す。