| 摘要 |
【課題】電気絶縁性、耐熱性、溶媒耐性、ドライエッチバック特性を同時に成立させるパッシベーション膜を提供する。【解決手段】下記式（ｉ）：（式中、Ｔ０はスルホニル基、フルオロアルキレン基、環状アルキレン基、置換基を有するアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアリーレン基とフルオロアルキレン基若しくは環状アルキレン基との組み合わせを示す。）の単位構造を含むポリマーであって、該ポリマーの末端、側鎖、又は主鎖に式（２−Ａ）、式（２−Ｂ）、又はそれら両方の構造を有する基を少なくとも一つ有するポリマーを含むパッシベーション膜形成用組成物。ポリマーは下記式（１）：の単位構造を含むことができる。【選択図】 なし |
